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SuperViewW中圖精密白光干涉儀基于白光干涉技術(shù)原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器VT6000材料表征3d共聚焦形貌顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，可以獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

NS系列微納樣品接觸式微觀表面臺階測量儀對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位，其對表面微觀形貌參數(shù)的準(zhǔn)確表征，對于相關(guān)材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。

SuperViewW高分辨率3d白光干涉儀能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)?？梢詮V泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中，納米材料表征共聚焦顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量。它基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進(jìn)行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像。

SuperViewW1白光干涉技術(shù)3D測量輪廓儀是以白光干涉技術(shù)為原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能.