




產(chǎn)品簡介
                中圖儀器CEM3000系列優(yōu)于4nm(SE)掃描電鏡憑借空間分辨率出色和易用性強(qiáng),用戶能夠非??旖莸剡M(jìn)行各項(xiàng)操作。甚至在自動(dòng)程序的幫助下,無需過多人工調(diào)節(jié),便可一鍵得到理想的拍攝圖片。
中圖儀器CEM3000系列優(yōu)于4nm(SE)掃描電鏡憑借空間分辨率出色和易用性強(qiáng),用戶能夠非??旖莸剡M(jìn)行各項(xiàng)操作。甚至在自動(dòng)程序的幫助下,無需過多人工調(diào)節(jié),便可一鍵得到理想的拍攝圖片。
CEM3000全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力,特別是CEM3000B基于復(fù)合抗振手段,將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度。CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡,不僅擁有強(qiáng)大的抗振性能和高效的工業(yè)應(yīng)用能力,而且操作靈活和成像質(zhì)量可靠,在現(xiàn)代制造業(yè)中為用戶帶來突破性的檢測解決方案。

1)臺(tái)式電鏡緊湊的外型,CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡能夠不受場地尺寸制約,真正做到了空間適用性,用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時(shí)CEM3000也能根據(jù)用戶需求,輕松移機(jī),一臺(tái)機(jī)器多處開花;
2)高分辨率,能夠?qū)ξ⒊叽缣卣鬟M(jìn)行觀測分析,滿足用戶的觀測需求;
3)快速抽放氣,憑借真空系統(tǒng)設(shè)計(jì),該系列臺(tái)式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時(shí)間;
4)高易用性,能夠快速成像、一鍵出片,用戶使用自動(dòng)調(diào)節(jié)功能,無需過多人工操作,就可得到高質(zhì)量拍攝圖片;
5)大樣品倉,CEM3000A在保證較小外型尺寸同時(shí),具有比肩立式電鏡的大倉室,從而容納更大尺寸樣品;
6)高抗振防磁性能,全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力,特別是CEM3000B使用本公司技術(shù),基于復(fù)合抗振手段,將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度;
7)可選配低真空模式,保證用戶能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉內(nèi)真空度,進(jìn)而對不同類型的樣品進(jìn)行觀測;
8)能夠提供多種成像參數(shù)供用戶選擇,滿足專業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求;
9)搭配有多種探頭,能夠?qū)悠愤M(jìn)行多種手段的分析。
1.高易用性快速成像、一鍵成片,無需過多人工調(diào)節(jié)。
2.超高分辨率優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE)@20kV。
3.超大景深毫米級別景深,具有高空間分辨率。
4.多探測器可實(shí)現(xiàn)四分窗同時(shí)掃描成像。
5.抗振性能優(yōu)異。
CEM3000系列優(yōu)于4nm(SE)掃描電鏡外型緊湊,空間適用性強(qiáng),整機(jī)采用大量的抗干擾設(shè)計(jì),避免使用環(huán)境造成的影響,拓寬了應(yīng)用范圍。同時(shí),該系列臺(tái)式電鏡具有非常豐富的自動(dòng)調(diào)節(jié)功能,能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M(jìn)行觀測,具有高空間分辨率。
用戶可在儀器上搭配不同的探頭,同時(shí)接收多種信號,對樣品進(jìn)行分析。
應(yīng)用范例:

CEM3000A(大樣品倉型):70mm×70mm樣品倉,兼容大尺寸或多樣品批量分析。
CEM3000B(抗振型):專為振動(dòng)環(huán)境設(shè)計(jì),抽氣更快(低真空僅40秒),成像更穩(wěn)定。



型號  | CEM3000A(大樣品倉型)  | |
電子槍  | 燈絲  | 鎢燈絲  | 
分辨率  | 優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE) @20kV  | |
加速電壓  | 1 ~ 20kV  | |
放大倍數(shù)  | 電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接)  | |
探測器  | 二次電子  | 標(biāo)配  | 
背散射電子  | 標(biāo)配(四象限高分辨探頭)  | |
能譜儀  | 選配  | |
自動(dòng)化軟件  | 標(biāo)配:自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、一鍵圖像增強(qiáng)  | |
選配:顆粒度統(tǒng)計(jì)、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建  | ||
真空系統(tǒng)  | 真空度  | 高真空:優(yōu)于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(選配)  | 
抽真空時(shí)間  | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min  | |
樣品臺(tái)  | 自動(dòng)軸  | X,Y,T  | 
手動(dòng)軸  | R,Z  | |
行程范圍  | X: 50mm  | |
Y: 50mm  | ||
R: 0°~360°(手動(dòng)旋轉(zhuǎn)、電子束旋轉(zhuǎn))  | ||
T: -22.5°~ +22.5°  | ||
Z: 45mm  | ||
最大樣品尺寸  | 70mm×70mm(水平) 45mm(高度)  | |
倉內(nèi)相機(jī)  | 導(dǎo)航相機(jī)  | 標(biāo)配高分辨彩色相機(jī)  | 
側(cè)視相機(jī)  | 標(biāo)配高分辨紅外相機(jī)  | |
操作系統(tǒng) 圖片尺寸  | Windows10 (64bit)  | |
640×480  | ||
1280×960  | ||
2560×1920  | ||
5120×3840  | ||
10240×7680  | ||
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